INFICON 潘寧真空計 PEG100 可以提供可靠的高真空測量。堅固耐用的潘寧冷陰極傳感器不會出現(xiàn)絲極燒毀的現(xiàn)象。由于采用鈦陰極板且等離子點(diǎn)火后高電壓將會降低，潘寧真空計還可在濺射應(yīng)用環(huán)境下運(yùn)行。現(xiàn)場總線選件以及對數(shù)模擬輸出信號允許使用 Profibus DP 或 DeviceNet 協(xié)議，將真空計輕松集成到真空系統(tǒng)中。

TripleGauge® BCG552 在一個傳感器法蘭中集成了 3 個真空傳感元件。這款新型 TrigonTM 系列的旗艦產(chǎn)品具有極寬的測量范圍，從 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1500 mbar)。由于增加了 ATM 傳感器，BCG552 可用于壓差測量，并在多個應(yīng)用中用作真空開關(guān)。 支持的 Bayard-Alpert 雙燈絲在 UHV 和 HV 范圍內(nèi)具有出色的精度、可重復(fù)。

對于需要獨(dú)立熱離子規(guī)技術(shù)的應(yīng)用，Trigon™ 系列中包含了采用單一技術(shù)的 Bayard-Alpert 熱電離規(guī) BAG552。 BAG552 專為壓力范圍為 5 × 10-10... 2 x 10-2毫巴的氣體真空測量而設(shè)計。支持雙燈絲，具有出色的精度、可重復(fù)性和使用壽命。BAG552 還可與 INFICON 真空計控制器系列VGC501、VGC502和VGC503配合使用。

對于測量范圍要求從 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1000 mbar) 的應(yīng)用，Trigon™ 系列包括雙技術(shù) BPG552 真空計。BPG552 由一個 Bayard-Alpert 熱電離傳感器元件和一個經(jīng)典、堅固、可靠的皮拉尼傳感器元件組成。支持的 Bayard-Alpert 雙絲提供了精度、可重復(fù)性和使用壽命。

離子基準(zhǔn)真空計控制器IRC081及其用戶界面是離子基準(zhǔn)真空計IRG080的標(biāo)準(zhǔn)化的操作和顯示界面IRC081與IRG080結(jié)合使用，可在10-8毫巴（10-6帕）至10-4毫巴（10-2帕）的范圍內(nèi)進(jìn)行精確和參考的總壓測量。IRC081為IRG080真空計參數(shù)設(shè)置提供本地控制。