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    單晶爐需要控制的方面

    更新時(shí)間:2011-07-04      點(diǎn)擊次數(shù):3684
           單晶爐需要控制的方面

           單晶爐是一種在惰性氣體環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長(zhǎng)無(wú)錯(cuò)位單晶的設(shè)備。

              一、晶體直徑   

              二、溫度   

              三、原料   

              四、泄漏率,氬氣質(zhì)量等   

            

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