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    EDWARDS復(fù)合渦輪分子泵

    簡(jiǎn)要描述:EXT255DX Edwards EXT復(fù)合渦輪分子泵適用于除zui苛刻的半導(dǎo)體應(yīng)用和科學(xué)應(yīng)用(這些領(lǐng)域可使用STP系列泵)以外的任何領(lǐng)域。EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷軸承和磁懸浮軸承的組合形式。陶瓷軸承與傳統(tǒng)軸承相比具有更輕、更硬和更平穩(wěn)的優(yōu)點(diǎn),以及壽命長(zhǎng)、小振動(dòng)的優(yōu)點(diǎn)。由于軸承滾珠和軸承座使用了不同材料,防止了微小凹陷而提高可靠性。

    • 產(chǎn)品型號(hào):EXT255DX
    • 廠商性質(zhì):代理商
    • 更新時(shí)間:2026-06-15
    • 訪  問  量:3855
    • 產(chǎn)品資料:

    詳細(xì)介紹

    品牌Edwards/愛德華產(chǎn)地進(jìn)口
    加工定制

    EXT255DX  Edwards EXT復(fù)合渦輪分子泵

    性能特點(diǎn)

    兼容TIC渦輪儀表控制器。

    多種通訊模式。

    *并口,用于傳統(tǒng)控制信號(hào)接口

    * 串口,用于RS-232接口。

    通過RS-232接口,用戶可以設(shè)置各種參數(shù)RS-232。

    * 放氣閥控制設(shè)置。

    * 正常泵速顯示。

    * 準(zhǔn)備轉(zhuǎn)速顯示。

    * 功耗。

    * 泵溫。

    增強(qiáng)型泵速、功耗、溫度監(jiān)測(cè)。

    EXT255DX  Edwards EXT復(fù)合渦輪分子泵

    技術(shù)數(shù)據(jù)

    前級(jí)泵也可以使用抽速更大的旋片泵,還可使用極限真空小于5mbar的隔膜泵。

    * 超出該入口壓力時(shí),轉(zhuǎn)速為額定轉(zhuǎn)速。
       ** 此時(shí)功率160W。
       *** 沒安裝入口篩網(wǎng)。安裝篩網(wǎng)時(shí),泵速下降約10%。
           前級(jí)泵為兩級(jí)旋片泵,并烘烤48小時(shí)。
           Pb<5 mbar(500 Pa)并烘烤48小時(shí)。

    安裝尺寸


    A 放氣口的手動(dòng)放氣閥

    B 電連接盒

    C 邏輯接頭

    D 前級(jí)泵接口

    E 吹掃凈化口(空白)

    F 插座

    G 地線連接

    EXT255DX渦輪分子泵特性曲線


    訂貨信息


    描述

    貨號(hào)

    EXT2555DX ISO100

    B753-11-000

    EXT255DX CF100

    B753-12-000

    EXT2555iDX ISO100 級(jí)間法蘭DN25NW

    B753-13-000

    TIC 渦輪控制器 200W RS232

    D397-12-000

    TIC 渦輪儀表控制器 200W RS232

    D397-22-000


































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