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    EDWARDS復合渦輪分子泵

    簡要描述:BOC Edwards EXT泵適用于除zui苛刻的半導體應用和科學應用(這些領域可使用STP系列泵)以外的任何領域。EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷軸承和磁懸浮軸承的組合形式。陶瓷軸承與傳統軸承相比具有更輕、更硬和更平穩的優點,以及壽命長、小振動的優點。由于軸承滾珠和軸承座使用了不同材料,防止了微小凹陷而提高可靠性。

    • 產品型號:EXT406PX
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2026-04-21
    • 訪  問  量:6113
    • 產品資料:

    詳細介紹

    品牌Edwards/愛德華產地進口
    加工定制

    BOC Edwards EXT406PX泵

    性能特點

    真空系統簡單

    * 可以選用較小的前級泵。

    * 降低真空系統體積與功耗。

    * 前級壓力在8mbar就可啟動,入口負載可達2E-3 。

    * 前級壓力在8mbar就可啟動,入口負載可達2E-3 。

    * 前級壓力為17mbar時,還可維持正常轉速。

    非常適合于與隔膜泵聯用,特別適用于抽H2。

    兼容24v DC Edwards TIC渦輪控制器或渦輪儀表控制器。

    * 也可使用用戶自己的24V DC電源。

    技術數據


    入口法蘭          DN100ISO-K、DN100CF、DN160ISO-K、DN160CF

    壓縮比

    N2

    >1 x 10E11

    He

    1 x 10E6

    出口法蘭(前級泵口)

    DN25NW

    前級泵(推薦)

    XDS10或RV12(或其它更小的,依應用而定)

    放氣口

    1/8 inch BSP

    吹掃凈化口

    1/8 inch BSP

    zui高入口壓力(空氣) *



    水冷(水溫15°C,大氣溫度40°C)

    0.008mbar


    空冷(大氣溫度35°C)

    0.012mbar

    額定轉速

    60000 rpm

    轉速達到90%所需時間 **

    285 s

    冷卻方式

    空冷/水冷

    大氣溫度(空冷)

    5-35 °C

    冷卻水zui低流速(水溫15 °C)

    15 l/h

    水溫范圍

    10-20 °C

    入口法蘭zui高溫度

    100 °C

    工作姿態

    垂直

    噪音(1m處)

    <45 dB(A)

    zui大磁場

    5 mT

    靜止功耗

    25~40 W

    EXT406PX渦輪分子泵安裝尺寸

    A EXDC控制器

    B 前級泵口

    C 羅茨泵口

    D 吹掃凈化口

    E 放氣口

    F 接地


    EXT406PX渦輪分子泵特性曲線


    訂貨信息


    描述

    貨號

    EXT406PX 復合渦輪分子泵 DN100ISO入口法蘭

    B760-31-991

    EXT406PX 復合渦輪分子泵 DN100CF入口法蘭

    B760-32-991

    EXT406PX 復合渦輪分子泵 DN160ISO入口法蘭

    B760-41-991

    EXT406PX 復合渦輪分子泵 DN160CF入口法蘭

    B760-42-991

    EXDC160 24 V

    D396-46-000

























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