EBS-530 電子束掃頻控制器

自定義電子束掃頻控制裝置
EBS-530 電子束掃頻控制器會生成大量與電子束 (e-beam) 沉積源配合使用的精密掃頻圖案。 用戶可選擇提供的基本形狀（圓、數字 8、線和點），也可以創建用戶定義的圖案，以優化金屬和電介質材料的沉積控制。 通過應用提供的圖案修改器，可創建基本形狀的變體。 提供的圖案修改器包括功率、掃頻、旋轉速度和功率配置文件。
通過用戶友好的觸摸屏 LCD 顯示屏，可以輕松操作和編程。 EBS-530 zui多可以存儲 32 個不同的掃頻圖案。 從前面板、通過遠程輸入或通過標準 RS-232/RS-485 接口，可以輕松選擇掃頻圖案。
從掃頻控制裝置嵌入的一組固定的基本掃頻圖案開始，用戶可以設計適合源和沉積材料特征的理想電子束掃頻圖案。 EBS-530 生成的掃頻圖案產生雙電流輸出，從而能夠驅動大多數電子束沉積源的 X 和 Y 掃頻線圈。
EBS-530 提供校準功能，用于補償不同類型與品牌電子槍之間的差異，并提供沉積材料的加熱。

功能

·         功能*、易于使用的校準功能可以補償槍磁體的不規則

·         高輸出電流： 0 至 5 安培交流電，帶 10 歐姆負載

·         驅動器接地或浮動線圈

·         高頻響應： 500 赫茲用于線圈 <8 豪亨；200 赫茲用于線圈 = 33 豪亨

·         圖案類型： 圓、數字 8、線、點和用戶定義

·         手持式控制器用于手動光束控制和校準

·         RS-232/RS-485 通信輸入

·         輸入功率： 85 至 265 伏（交流），50/60 赫茲

·         功率因數 = zui大線圈電流時為 0.99