質量流量控制器

簡要描述：質量流量控制器 V 系列 MFC 是用于精確控制氣體質量流量的設備，MFC 既可應用于半導體前段制程，如 ETCH、PVD、ALD、MOCVD、IMP 等設備中，也在光伏能源、真空鍍膜等領域有可觀的市場。
MFC 可通過對氣體流量的精準控制，有效地提供更高的良率。

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質量流量控制器 V 系列 MFC

質量流量控制器 VG80 系列 MFC 是用于控制氣體質量流量的零部件，具有以下特點1：

設計dute：采用 “雙閥 + 壓降 + 位置傳感" 的dute設計。
性能youyue：響應速度快，啟停時間≤100ms；測量精度高，可達 ±0.5% S.P.；測量量程寬，在 2 - 100% F.S.；自診斷能力強，維護成本低。

應用場景：MFC 既可應用于半導體前段制程，如 ETCH、PVD、ALD、MOCVD、IMP 等設備中，也在光伏能源、真空鍍膜等領域有可觀的市場。 MFC 可通過對氣體流量的精準控制，有效地提供更高的良率。

該系列產品可廣泛應用于半導體制造中的 etch（刻蝕）、CVD（化學氣相沉積）、PVD（物理氣相沉積）、ALD（原子層沉積）、MOCVD（金屬有機化學氣相沉積）等工藝設備中，也適用于如 MPCVD（微波等離子體化學氣相沉積）、解熱解凍干燥、石英提純、醫療廢棄物處理等領域。

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