干式氦氣檢漏儀

超測試™傳感器 技術

專為滿足半導體應用中的泄漏檢查需求而設計。

它具有靈活性、移動性、快速啟動、高靈敏度、快速精確的測試結果和可靠性。

UL3000 FAB ULTRA 型號的突出優勢

由于更高的空氣泵送速度，抽空（抽真空）時間更快。

由于羅茨粗加工泵的維護成本低，總擁有成本 （TCO） 更低。

作為 HYDRO·S 軟件消除了水蒸氣背景，可以快速達到敏感的測量范圍

UL3000 Fab ULTRA 還通過使用久經考驗的嗅探器系列 SL3000（長度可達 10 米）提高了嗅探器功能。SL3000具有單獨的連接端口，因此無需連接到真空入口。

兩種型號均具有

快速獲得結果

改進的真空系統具有低維護真空泵，可以從大氣壓開始檢測泄漏。堅固耐用的質譜儀系統可確保較長的運行時間和較低的維護成本。

可旋轉顯示屏和遠程可控用戶界面

新的觸摸屏顯示器甚至可以從很遠的距離顯示測試結果和狀態信息。通過用戶引導的菜單結構輕松操作，即使對于沒有經驗的操作員也是如此。UL3000 Fab （ULTRA） 可通過智能手機或平板電腦進行無線控制 - 無需特殊軟件或應用程序。通過按鈕記錄和存儲測試結果可以傳輸到其他存儲介質進行進一步分析。

超薄設計，具有可操作性

UL3000 Fab （ULTRA） 的重心低、車輪大、符合人體工程學設計的手柄和纖薄的外殼，即使在狹小的空間內也能實現 UL3000 Fab （ULTRA） 的良好移動性。

好處

• 利用 I·CAL 軟件算法節省時間，可在 10-9 至 ^10-12 mbar·l/s 的范圍內進行快速測量

• 使用I·ZERO 2.0進行zuigaoxiao的泄漏檢查，具有改進的智能功能，可在保持高測量靈敏度的同時實現快速背景抑制

• 適用于真空和嗅探器泄漏搜索

• 通過快速疏散和響應時間大限度地減少泄漏檢查工作

• 通過纖薄設計實現輕松的可操作性，從而節省時間

• 通過*的離子源（3 年保修）和逆流真空系統實現低總擁有成本 （TCO）

• 易于使用、操作員引導的 HMI，帶全彩色高分辨率可旋轉顯示屏

• UL3000 超超制造：作為 HYDRO·S 軟件消除了水蒸氣背景，可以快速達到敏感的測量范圍

• UL3000 Fab ULTRA：由于羅茨泵的空氣泵送速度較高，抽空（抽真空）時間更快

• UL3000 Fab ULTRA：由于羅茨粗加工泵的維護成本低，因此降低了總擁有成本（TCO）。

• UL3000 Fab ULTRA：檢漏儀還通過使用久經考驗的嗅探器系列 SL3000（長度可達 10 米）提高了嗅探器功能。SL3000具有單獨的連接端口，因此無需連接到真空入口。

典型應用

• 半導體晶圓廠

• 平板顯示器制造

• 太陽能電池制造

• 玻璃和卷筒紙（卷對卷）涂層

• 一般真空鍍膜和應用