薄膜沉積監(jiān)測儀

IMM-200薄膜沉積監(jiān)測儀

IMM-200 是一款采用 ModeLock 技術構建的沉積監(jiān)測儀，具有最高的厚度精度、的測量分辨率和zuidi的噪聲速率，可大限度地提高再現(xiàn)性和均勻性。
內置振蕩器時，IMM-200 可以輕松地集成到以太網(wǎng)系統(tǒng)中，只需極少的硬件和占用空間。這款功能*且精確的測量監(jiān)視器肯定會為您的過程帶來新的性能水平。

功能

• INFICON ModeLock 技術提供最長的晶體壽命，并確保zuiwending、最高分辨率和厚度測量，即使在非常低的速率下也是如此。

• 通過的 QCM 厚度測量實現(xiàn)產量zuidahua

• 單通道速率和厚度監(jiān)測儀，無需不必要的附加功能，以大限度地降低成本

• ±0.0035 Hz 超過 100 ms 采樣

• 以太網(wǎng)通信實現(xiàn)無縫集成

• 緊湊的尺寸，通過節(jié)省工具空間來大限度地降低集成成本

• 專家應用支持，能夠討論dute的應用需求，并提供比競爭對手更大的支持

• 符合 RoHS 標準

典型應用

• 半導體制造

• 發(fā)光二極管應用