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當(dāng)前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > 質(zhì)量流量計(jì) > MKS流量計(jì) > MKS C系列質(zhì)量流量控制器 質(zhì)量流量計(jì)
簡要描述：C系列質(zhì)量流量控制器（MFC）是緊湊且快速響應(yīng)型，用于非腐蝕性氣體，流量從50SCCM至50SLM，范圍從滿量程0.1%至。控制方式有0至5VDC模擬和RS485，所需電源電壓為24VDC。
產(chǎn)品型號(hào)：廠商性質(zhì)：代理商更新時(shí)間：2026-04-21訪 問 量：5603產(chǎn)品資料：產(chǎn)品分類
詳細(xì)介紹
| 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 | 加工定制 | 否 |
|---|---|---|---|
| 質(zhì)保 | 1年 |
C系列質(zhì)量流量控制器
C系列質(zhì)量流量控制器（MFC）是緊湊且快速響應(yīng)型，用于非腐蝕性氣體，流量從50SCCM至50SLM，范圍從滿量程0.1%至。控制方式有0至5VDC模擬和RS485，所需電源電壓為24VDC。
C系列質(zhì)量流量計(jì)尺寸為：長5.02英寸(127.5mm) ，寬1英寸(25.4mm)，高4.33英寸(109.98mm)，氣路轉(zhuǎn)接，下載版本及可用。
MEMS低熱式質(zhì)量傳感器提供快速檢測流量變化和低噪聲輸出，傳感器的固態(tài)設(shè)計(jì)使其能抵抗水凝結(jié)粒子，壓力沖擊和振動(dòng)。
快速響應(yīng)，寬動(dòng)態(tài)控制范圍，1%精度，在無腐蝕性工藝應(yīng)用中的佳選擇。用于質(zhì)譜、真空鍍膜、生物反應(yīng)及多種應(yīng)用。
C系列融合了快速反應(yīng)的電磁控制閥與流量傳感器，通過MFC優(yōu)化流量耦合信號(hào)處理與控制算法，使得響應(yīng)時(shí)間小于100毫秒。
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