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PEV-1的產品介紹
| 參數項 | 規格 |
|---|---|
| 驅動電壓 | 0~100VDC DC，啟動閾值 20~30VDC，嚴禁超壓；驅動電流＜10μA |
| 量程流量 | 0~525 SCCM（常規標稱 0~500SCCM） |
| 響應時間 | ≤2ms，壓力調節無超調，穩壓穩定性強 |
| 氦檢漏率 | ＜3×10?? scc/sec（1atm 壓差），超高真空密封等級 |
| 最大進氣壓力 | 50 PSIG |
| 閥體材質 | 316 不銹鋼，內置 2μm 進氣過濾器，密封件 Viton 氟橡膠 |
| 工作溫度 | 10℃ ~ 60℃ |
| 氣路接口 | 標配 1/4"Swagelok 卡套；可選 1/4" VCR 外螺紋（潔凈高真空工況） |
| 電氣接口 | 標準 BNC（Q9 同軸接頭） |
| 安全特性 | Fail-Safe 斷電自鎖關閉，防止真空腔泄壓 |
| 適用氣體 | 氬氣、氮氣、氧氣等干燥無腐蝕性工藝氣體 |
超長使用壽命：無電機、齒輪、彈簧等機械運動部件，幾乎無機械磨損，適配 7×24 小時連續量產制程
超快動態響應：毫秒級開度調節，快速抑制真空壓力波動，鍍膜工藝膜厚均勻性更好
高潔凈高密封：不銹鋼閥體 + 前置微米過濾器，可防止粉塵劃傷密封墊片造成內漏
兼容性強：適配各類進口、國產真空壓力控制器，開環 / 閉環兩種控制模式
PEV-1：標準款，1/4" Swagelok 卡套接口，
PEV-1-VCR：超高真空潔凈款，1/4" VCR 外螺紋接口
PEV-1-001：原廠 Viton 密封維修包（易損備件，墊片老化漏氣時更換）
磁控濺射、ITO 導電膜、光學鍍膜、裝飾鍍膜設備
PECVD、等離子清洗、刻蝕、太陽能電池真空工藝
質譜儀、離子束設備、科研高真空實驗平臺
真空腔體精密微量進氣、閉環恒壓控制系統
管路方向：閥體標注IN為進氣端、OUT接真空腔體，嚴禁反向安裝
電壓區間：最佳線性工作區間 30~80VDC；20~30VDC 為開啟閾值，低壓段線性度較差
前置過濾：進氣端必須加裝精密過濾器，顆粒雜質會直接劃傷氟橡膠密封面，造成yong jiu內漏
長期停機：設備停機時保持 0V 斷電，閥門常閉保護密封件，避免墊片長期受壓老化
禁止超壓：驅動電壓絕對不能超過 100VDC，否則會直接擊穿壓電陶瓷，閥門yong jiu損壞
排查：BNC 線纜斷路、控制器無 0~100V 輸出、電壓未達到 20V 開啟閾值；壓電陶瓷擊穿損壞
解決：檢測驅動電壓、更換同軸電纜；陶瓷損壞需返廠維修或更換閥體
原因：密封 Viton 墊片被粉塵劃傷、長期高溫老化
解決：更換原廠密封維修包，清潔閥座后重新裝配，氦檢復測漏率
原因：進氣壓力不穩定、工作電壓落在 20~30V 閾值區間、過濾器堵塞
解決：穩定氣源壓力，調整控制器輸出區間避開低壓閾值，清洗前置過濾器
排查：控制器 PID 參數不匹配、閥體內部輕微雜質卡滯
解決：重新整定壓力控制器 PID 參數，拆解清洗閥體流道
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