半導(dǎo)體工藝正在逼近物理極限。2nm、1nm制程的推進(jìn)，不僅考驗(yàn)光刻精度，更對設(shè)備潔凈度提出了qian suo wei you的要求。在真空系統(tǒng)中，閥門是運(yùn)動件，也是Particle產(chǎn)生的主要來源之一。如何在閥門開閉過程中將顆粒產(chǎn)生降至zui di，成為先進(jìn)制程設(shè)備設(shè)計(jì)必須回答的問題。

L-MOTION（50×336）矩形傳輸閥主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造中的真空傳輸系統(tǒng)與工藝腔室之間的隔離，適用于晶圓傳輸與工藝腔隔離。

L-MOTION是一種區(qū)別于傳統(tǒng)擺桿機(jī)構(gòu)的新型閥門運(yùn)動技術(shù)，其核心邏輯是用運(yùn)動軌跡的正交封合，換取密封過程中的“零摩擦"。具體來說，閥板的運(yùn)動拆解為兩個獨(dú)立方向：先垂直移動至關(guān)閉位置，再水平壓緊至閥座。

整個過程閥板與閥體無滑動摩擦，O型圈與密封面之間只有垂直壓縮接觸，沒有切向磨耗。這一設(shè)計(jì)從根本上規(guī)避了摩擦產(chǎn)塵問題，同時最大限度減少了密封件磨損。另外，所有運(yùn)動部件均通過金屬焊接波紋管與真空側(cè)wan quan隔離，確保長期運(yùn)行的密封可靠性。

日揚(yáng)L-MOTION矩形傳輸閥在振動測試中表現(xiàn)突出。測試采用三軸加速度傳感器采集閥體X/Y/Z三個方向的振動加速度數(shù)據(jù)，開閉時間固定在2s，在額定氣壓下進(jìn)行連續(xù)啟閉循環(huán)測試。結(jié)果顯示，閥門啟閉過程中的振動加速度峰值控制在較低水平，且振動波形平緩、無明顯沖擊尖峰。振動值范圍在0.02~0.08G之間，遠(yuǎn)低于0.15G的標(biāo)準(zhǔn)。在裝機(jī)于工藝腔體的環(huán)境下，閥門振動幅度將會更小。

此外該閥門擁有運(yùn)動調(diào)速功能，允許用戶根據(jù)工藝需求調(diào)整開閉速度，自定義低速可進(jìn)一步降低振動水平，一方面可以減少振動對精密工藝環(huán)境的干擾，另一方面振動本身也是顆粒釋放的驅(qū)動因素——低振動從源頭降低了Particle產(chǎn)生和擴(kuò)散的風(fēng)險。