OPG550光學等離子真空計

OPG550光學等離子真空計

尊敬的新老顧客：

這里為你詳細介紹INFICON（英福康）Augent™ OPG550光學等離子真空計，這是一款集總壓測量與光學氣體成分分析于一體的緊湊型真空監測設備，廣泛用于半導體、真空爐、檢漏等工業場景。

核心原理

優點：

1、集總壓力測量（1×10?? mbar ～ 大氣壓）與氣體組分分析（1×10?? ～ 5 mbar）于一體。 

2、可識別N?、O?、H?、Ar等常見氣體，適合粗、高真空過程監控。

3、抽真空過程中1 分鐘內即可可靠檢測空氣泄漏，遠快于傳統保壓法（10 分鐘～2 小時）。 

4、實時監測總壓與氣體組分，支持自動檢漏和遠程告警，大幅提升產能。

5、采用冷陰極和光學傳感，無易損燈絲，抗空氣沖擊、耐化學腐蝕。 

6、內置皮拉尼傳感器做過載保護，壓力超 20 mbar(印刷版資料上是20bar) 時自動關閉等離子體，保護核心部件。

7、體積小巧，標準接口，安裝靈活，節省設備空間。 

8、智能算法簡化操作，支持即插即用，便于自動化系統集成。

9、無需預熱，上電即測，減少等待時間。 

10、傳感器壽命長，降低頻繁更換與校準成本。

缺點：

1、僅能檢測N?、O?、H?、Ar等少數氣體，無法識別復雜混合氣體或特殊工藝氣體。

2、相比四極質譜（RGA），定性 / 定量精度與氣體覆蓋度差距明顯。

3、氣體分析僅在1×10?? ～ 5 mbar有效，超出范圍無法氣分。定量精度不及專業質譜，不適合高精度氣體配比或痕量雜質分析。

• 半導體工藝：PVD/CVD 腔室的真空監測、氣體成分控制、端點檢測、管路 / 腔室泄漏排查；

• 真空釬焊 / 熱處理爐：防止空氣滲入導致工件氧化，實時監控爐內氣氛；

• 檢漏系統：加速 RoR（壓力上升速率）測試，供氣管路 / 真空箱體的在線泄漏預警；

• 校準設備：真空校準臺的多氣體環境監測。

• 可以聯系我們的夏經理：1 3 5 0 2 8 6 1 4 1 5