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技術(shù)文章
LX218 和 UL1000Fab 主要參數(shù)的對(duì)比表
LINXON LX218 （8200-000） | UL1000Fab | |
He 最小可檢測(cè)泄漏率 | ＜5E-13Pa m3/s (1) | ＜5E-12 mbar l/s (1)；＜5E-8 mbar l/s (2) |
離子源 | 兩根長(zhǎng)壽命銥絲，帶氧化釔涂層（三年質(zhì)保） | 兩根帶氧化釔涂層的銥燈絲 |
檢測(cè)方法 | 真空式和嗅探式泄漏檢測(cè)法 | 真空和吸槍模式 |
可檢測(cè)氣體 | He4，He3，H2 | He4，He3，H2 |
內(nèi)部 He 測(cè)試泄漏 | 1E-8Pa m3/s | 1E-7 mbar l/s |
泄漏率顯示 | 1E-13—0.1 Pa m3/s | 0.1 mbar l/s |
運(yùn)行預(yù)備時(shí)間 | 3 min | ＜3 min |
響應(yīng)時(shí)間 | 0.5 s | ＜2 s |
抽速：適用于 He | 2.5 l /s | 最大 8 L/s(粗檢）、7 L/s(精檢）、2.5 l /s (超精檢模式） |
連接法蘭 | DN 25 ISO-KF | 25 KF |
最大進(jìn)氣壓力 | 25 mbar | 15 mbar(粗檢），2 mbar(精檢）、0.4 mbar(超精檢） |
環(huán)境溫度 | 運(yùn)行時(shí) 10 到 35℃ | 運(yùn)行時(shí) 10 到 40℃ |
接口 | RS-232-C，RS-485 | RS-232 |
輸出：模擬量 | 泄漏率信號(hào) 2 x 0-10V，線性/對(duì)數(shù) | 2 x 0-10V |
輸出：數(shù)字量 | 準(zhǔn)備開始、準(zhǔn)備測(cè)量、泄漏、錯(cuò)誤、局部流量閥 | 兼容 PLC，用于控制和狀態(tài)信息 |
電源 | 單 相 230VAC，50HZ | 電源 230VAC，50HZ |
泵組 | 雙極油旋片泵或者隔膜干泵配合分子泵 | 帶耐用的渦旋泵和多進(jìn)氣口渦輪分子泵的智能真空泵組 |
(1): 根據(jù)AVS 2.1 | (1): 真空模式。(2): 吸槍模式 |
本公司專業(yè)代理：1、英福康（Inficon）真空計(jì)、檢漏儀、四極質(zhì)譜儀（RGA）、晶振片；2、LINXON 的四極質(zhì)譜儀（myRGA）、檢漏儀（LX218）；3、中國(guó)臺(tái)灣日揚(yáng)的真空蝶閥、角閥、翻板閥、插板閥、定制真空腔體、真空管件；4、安捷倫真空泵、分子泵；5、瑞士福特林（Vogtlin）的流量計(jì)。若有需求，敬請(qǐng)聯(lián)絡(luò)，謝謝！
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